Forschungszentrum Ultraschall gGmbH

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Forschungszentrum Ultraschall gGmbH
Köthener Str. 33A
06118 Halle(Saale)

Tel.: 0345 / 44 58 39 10
Fax: 0345 / 44 58 39 19
E-mail: kontakt(at)fz-u.de

Partner

Hochschule Merseburg


Hochvakuumbeschichtung, Elektrodendesign/ -herstellung, Metallisierung

      Für die Kontaktierung von piezoelektrischen Wandlermaterialien müssen zunächst leitfähige Elektroden aufgebracht werden. Hierfür steht dem Forschungszentrum Ultraschall eine kommerzielle Bedampfungsanlage der Firma Creavac (Dresden) zur Verfügung. Die Metallbeschichtung erfolgt mittels thermischer Verdampfung aus typischerweise Molybdän oder Wolfram-Schiffchen unter Hochvakuumbedingungen. Die wichtigsten Parameter hierbei sind:

  • bis zu vier unterschiedliche Verdampfungsmaterialien
  • Schichtdicken von wenigen Nanometern bis mehrere Mikrometer
  • in-situ Schichtdickenmessung mit Schwingquarz
  • Vorbehandlung mittels Glimmen in O2- oder Ar-Atmosphäre
  • maximaler Probendurchmesser: 350 mm

Ziel ist die Herstellung von industrietauglichen lötbaren Elektroden. Diese weisen eine sehr gute elektrische Leitfähigkeit und einen Korrosionsschutz auf.

Neben der Beschichtung von Proben im eigenen Haus freuen wir uns, Ihnen unser Know-how, insbesondere auch bei der Beschichtung kritischer Materialien wie z.B. Folien oder Materialverbünden als Dienstleistung anbieten zu können. Dabei stehen wir Ihnen gern bei der Entwicklung und dem Design von Bedampfungsmasken, Probenbefestigungen und der Optimierung des gewünschten Schichtsystems zur Seite. Unser Spektrum umfasst neben der Umsetzung kundenspezifischer Einzelstücke auch die Fertigung von Kleinserien. Wir beraten Sie gern über die Möglichkeiten der Vakuumbeschichtung für eine optimale und kostengünstige Lösung Ihrer Beschichtungsaufgabe.